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硅片化学镀铜液

2022-08-16 16:25:11        作者:易镀    浏览:

原料配比(g)
硫酸铜            1~25            氢氧化钠            1.4~35
酒石酸钾钠     
5~125               水                   加至1L
甲醛/mL       
2~50

制备方法
    将各组分溶于水,搅拌均匀即可。

原料配伍
    本品各组分配比范围为(g):硫酸铜1~25、酒石酸钾钠 5~125、甲醛2~50mL、氢氧化钠1.4~35、水加至1L。

产品应用
    本品主要应用于硅片上化学镀铜。

    在硅片上化学镀铜的方法。具体步骤如下:首先对硅表面进行抛光和 清洗处理,然后进行刻蚀;将经过抛光清洗和刻蚀处理的硅片放在含硫酸 铜的氢氟酸溶液中,进行化学镀铜晶种,时间5s~5min,用水冲洗;最 后在以酒石酸钾钠为络合剂、甲醛为还原剂的化学镀溶液中化学镀铜,镀 铜时间为10~30min。由于铜的自催化作用,可以快速地引发化学镀铜液 中铜离子的还原,使得还原出的铜快速地沉积在基底的表面上,得到牢 固、光亮和均匀的铜镀层。

产品特性
    避免钯催化剂的使用,改用铜晶种作为催化剂,使得化
学镀铜膜的纯度和导电性得到了很大提高。操作简便,溶液稳定性好,价格低廉,且可避免最后化学镀铜膜中杂质金属的引入。由于硅是一种常用的红外窗口材料,以它为基底,由此制备的铜膜可以作为工作电极,很方便地应用在电化学光谱研究中。电化学测试也证明这种铜膜具有和本体铜电极一致的电化学性质。


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