原料配比(g/L)
[制备方法]
(1)将硫酸镍、次亚磷酸钠、柠檬酸、氯化铵、十二烷基硫酸钠分别用去离子水搅拌溶解,再将柠檬酸、氯化铵、十二烷基硫酸钠混合;
(2)将已完全溶解的镍盐溶液,在不断搅拌下倒入含络合物步骤(1)的混合溶液中;
(3)将已经完全溶解的次磷酸钠溶液,在搅拌下,倒入步骤(2)的溶液中;
(4)将已溶解好的pH值调节剂边搅拌边加入步骤(3)的溶液中,即得到镀液。
[原料配伍]
本品各组分配比范围为(g/L) :硫酸镍25~30、次亚磷酸钠8~ 12、柠檬酸50~80、氯化铵20 ~ 40、十二烷基硫酸钠0.003 ~0.005。
[产品应用]
本品主要应用于化学镀。
本品碱性化学镀液在硅片.上的镀液方法是:将硅片完全浸入镀液中,在60°C下施镀。
[产品特性]
本品对中温条件下硅上直接镀镍进行了一系列的研究,得到了镀液稳定、镀层结合力较好、镀速较快的碱性镀液,综合考虑镀液稳定性、镀层结合力和镀速。
提出的碱性镀液方法解决了硅片镀镍复杂的前处理问题,实现了无需前处理的镀镍。
本文转载自《化学镀液 配方与制备(一)》编著 李东光
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