[原料配比]
[制备方法]
取磨料，在搅拌条件下依次加入整合剂、pH调节剂、活性剂、去离子水，搅拌充分后即制得本抛光液。
[原料介绍]
所述磨料是粒径为15～150nm的水溶硅溶胶和金属氧化物的水溶胶，水溶硅溶胶是SiO2，金属氧化物的水溶胶是Al2O3、CeO2或TiO2。
所述螯合剂是具有水溶性和不含金属离子的EDTA、EDTA二钠、羟胺、胺盐或胺。
所述pH调节剂是氢氧化钠、氢氧化钾、多羟多胺和胺中的一种或两种以上组合。
所述表面活性剂是非离子型表面活性剂，为脂肪醇聚氧乙烯醚、烷基醇酰胺或FA／O系列活性剂。
[产品应用]
本品主要用作抛光液。
[产品特性]
（1）本品是碱性，不腐蚀污染设备，容易清洗。
（2）硅抛光速率快，平整性好，表面质量好。
（3）使用不含金属离子的螯合剂，对有害金属离子的螯合作用增强。
（4）采用非离子型表面活性剂，能对磨料和反应产物从衬底表面有效的吸脱，使抛光后的清洗更加容易。
（5）对环境无污染。
（6）抛光液具有良好的流动性，提高质量传输的一致性，降低表面的粗糙度。
（7）工艺简单，成本低，降低了销售价格，具有良好的商业开发前景。
本文转载自《金属表面处理剂配方与制备手册》编著 李东光
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