[原料配比]
[制备方法]
将各组分在去离子水中混合均匀，即可制得化学机械抛光液。
[产品应用]
本品主要应用于钨化学机械抛光。
[产品特性]
在硝酸铁作为氧化剂的基础上，用硅溶胶代替氧化铝作为研磨剂，通过加入硝酸钾，显著降低了产品的缺陷，提高了生产的良率。
本文转载自《金属表面处理剂配方与制备手册》编著 李东光
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