金属防腐清洗液

[原料配比]

[制备方法]
    将各组分溶于水，混合均匀即可。
[原料介绍]

    本品中的有机羧酸为柠檬酸、草酸、酒石酸、琥珀酸或马来酸中的一种或多种的组合。

    本品中的有机膦酸包括烷基膦酸、苯基膦酸、1—羟基乙烯基—1、1—二膦酸、亚甲基磷酸、乙烯基—二胺—4—亚甲基磷酸、环丁烷基三胺—5—亚甲基膦酸或多氨基多醚基四亚甲基膦酸中的一种或多种的组合。

    本品中的有机磺酸包括甲基磺酸、乙基磺酸、二甲基磺酸或丁基磺酸内酯中的一种或多种的组合。

    本品中的含氮氨基酸和它的形成盐包括甘氨酸、丙氨酸、亮氨酸、异亮氨酸、缬氨酸、胱氨酸、半胱氨酸、甲硫氨酸、苏氨酸、丝氨酸、苯丙氨酸、酪氨酸、色氨酸、脯氨酸、羟脯氨酸，谷氨酸、天门冬氨酸、赖氨酸或精氨酸中的一种或多种的组合。

    本品中的聚合物金属防腐抑制剂为聚丙烯酸类化合物、丙烯酸类化合物与苯乙烯的共聚化合物、丙烯酸类化合物与顺丁烯二酸酯的共聚化合物、丙烯酸类化合物与丙烯酸酯类的共聚化合物、膦酰基羧酸共聚物、丙烯酸—丙烯酸酯—磺酸盐三元共聚物或者丙烯酸—丙烯酸酯—膦酸—磺酸盐四元共聚物。

    本品中的聚合物金属防腐抑制剂分子量范围在2000～3000000。

    本品中的聚丙烯酸类化合物较佳地为聚丙烯酸，分子量范围较佳地为5000～30000。

    本品中的含氮杂环化合物为苯并三唑、吡唑和／或咪唑。本品中的载体为醇类和／或水。

    本品主要用于金属衬底的清洗，如铜、铝、钽、氮化钽、钛、氮化钛、银或金。

    本品可用于下列工艺：抛光、刻蚀（去强光阻后）、沉积以及其他保护步骤中。由于将化学添加剂用于清洗液中，降低了对后续工艺的干扰，大大降低金属材料的表面点蚀，降低表面腐蚀程度，从而降低了缺陷，提高了清洗效率和产品良率，增加了收益率。

[产品应用]
    本品主要应用于金属清洗。

    本品用于化学机械抛光液，抛光铜金属的工艺为：

（1）抛光盘的转速为50～70r／min、抛光头转速为70～90r／min、抛光液流速为200～300mL／min、抛光时间为1～2min；

（2）在抛光盘的转速为25r／min、抛光头转速为25r／min，使用本清洗液，清洗液流速为300mL／min，抛光时间为0.5～1min；

（3）用清洗液及聚乙烯醇（PVA）辊刷对晶片表面进行刷洗2min，辊刷转速为300r／min，清洗头转速为280r／min，清洗液流量为300mL／min；

（4）用去离子水及PVA辊刷刷洗2min，辊刷转速为300r／min，清洗头转速为280r／min，去离子水流量为300mL／min。

[产品特性]

（1）本品能够大大降低金属材料的腐蚀程度，从而使缺陷明显下降；
（2）大大改善了金属表面的平坦度质量。

本文转载自《金属表面处理剂配方与制备手册》编著    李东光
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