本品主要用作化学机械抛光液。
原料配比(质量份)
[制备方法]
制备方法将各组分混合到去离子水中，用碱性pH调节剂(KOH)调节到所需的pH值，即可得到抛光液。
[原料配伍]
本品各组分质量份配比范围为:研磨颗粒0.1 ~50、次亚磷酸(盐) 0.1~5、表面活性剂50 ~500mg/kg、水加至100。
所述研磨颗粒选自SiO2、Al2O3、ZrO2、CeO2、 SiC、 Fe2O3、 TiO2 和Si3N4中的一种或多种。
所述的次亚磷酸(H3PO2)或其盐包括金属盐、铵盐、季铵盐。优选金属钾盐。
所述的表面活性剂包括阳离子型表面活性剂、阴离子型表面活性剂，以及非离子型表面活性剂。优选非离子型表面活性剂，该非离子型表面活性剂优选聚乙二醇( PEG400)，平均相对分子质量为380 ~ 420。
在本品中，化学机械抛光液为碱性，pH值为9~14，较佳地为10~ 12。
[产品应用]
本品主要用作化学机械抛光液。
[产品特性]
本品采用全新的配方，各组分之间能更好地协调，对氧化物的去除速度具有更高的提升作用，并且抛光效果也更好。由于抛光速率的提高，减少了抛光时间，提高了生产效率，降低了制造成本。同时，由于抛光速率的提高，可以相对降低抛光液中化学品的用量，继而进步减少环境污染。
本文转载自《金属表面处理剂配方手册》主编 李东光
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