本品主要用作化学机械抛光液。
原料配比(质量份)
[制备方法]
(1)将掺铝二氧化硅和有机季铵盐加入水中均匀混合，用pH调节剂调节上述溶液至pH为2~4，得浓溶液;
(2)将水加入到上述浓溶液中，水的加入量为浓溶液质量的1 ~ 5倍，得化学机械抛光液。
[原料配伍]
本品各组分质量份配比范围为:掺铝二氧化硅6~60、有机季铵盐0.02~18、孪生季铵盐表面活性剂0.005~0.04、水加至100。
所述的掺铝二氧化硅作为抛光液中的磨料，粒径较佳地为30~50nm，更佳地为45nm。
所述的有机季铵盐，能提高二氧化硅的去除速率，抑制对氮化硅的去除速率。
所述的有机季铵盐较佳地为由四个碳原子数为1 ~4的烷基取代的有机季铵盐，更佳地为四丁基氢氧化铵、四甲基氢氧化铵和四丁基氟化铵中的一种或多种。
所述双子季铵盐表面活性剂，能够更好地调节二氧化硅与氮化硅的选择比。
根据工艺实际需要，可向本品的抛光液中添加本领域常规添加的辅助性试剂，较佳地为氨基三亚甲基膦酸、亚氨基二乙酸、多烯多胺、氨三乙酸、十二烷基溴化铵和双胍碱和丙烯酸-2-丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸共聚物中的一种或多种。这些辅助类试剂能够调节二氧化硅与氮化硅的选择比。
本品的抛光液的pH值较佳地为2~ 5。
[产品应用]
本品主要用作化学机械抛光液。
[产品特性]
(1)本品的抛光液对浅沟槽隔离层的划伤小，对二氧化硅的去除速率高，对氧化硅的去除速率低，两者选择比可达10以上。
(2)本品的抛光液磨料含量低，成本低廉。
本文转载自《金属表面处理剂配方手册》主编 李东光
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