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硅片化学镀铜镀液

2024-04-01 14:14:57        作者:易镀    浏览:

原料配比
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制备方法

    将各组分溶于水, 搅拌均匀即可。

原料配伍
    本品各组分配比范围为: 硫酸铜1 ~ 25g、酒石酸钾钠5 ~ 125g、甲醛2 ~ 50mL、
氢氧化钠1.4~35g,水加至1L。

产品应用
    本品主要应用于硅片 上的化学镀铜。

    在硅片上化学镀铜的具体步骤如下:首先对硅表面进行抛光和清洗处理,然后进行刻蚀;将经过抛光清洗和刻蚀处理的硅片放在含硫酸铜的氢氟酸溶液中,进行化学镀铜晶种,时间为5s ~5min,取出后用水冲洗;最后在以酒石酸钾钠为络合剂、甲醛为还原剂的化学镀溶液中化学镀铜,镀铜时间为10 ~ 30min。由于铜的自催化作用,可以快速地引发化学镀镀液中铜离子的还原,使得还原出的铜快速地沉积在基底的表面上,得到牢固、光亮和均匀的铜镀层。

产品特性

    (1)避免钯催化剂的使用,改用铜晶种作为催化剂,使得化学镀铜膜的纯度和导电性得到了很大提高。

    (2)操作简便,溶液稳定性好,价格低廉,且可避免化学镀铜膜中杂质金属的引入。

    (3)由于硅是一种常用的红外窗口材料,以它为基底,由此制备的铜膜可以作为工作电极,很方便地应用在电化学光谱研究中。电化学测试也证明这种铜膜具有和本体铜电极一致的电化学性质。




本文转载自《化学镀液 配方与制备(一)》编著    李东光
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