[原料配比]
[制备方法]
(1)将硼酸钠和焦磷酸钾混合溶于60～80℃的水中；
(2)将氢氧化钾溶于常温水中；
(3)分别将椰子油烷基醇酰胺磷酸酯、辛烷基苯酚聚氧乙烯醚溶于水中，再将 两溶液均匀混合；
(4)将以上三种溶液均匀混合，即成硅片清洗剂。
[产品应用]
本品主要应用于硅片清洗。
[产品特性]
本品方法简单、易于生产，可有效降低生产成本，且生成的清洗剂 原液可长期保存、运输。实际应用时，只需以洁净的水稀释即可。本品不含任何有 机溶剂，无任何刺激性气味，工作液的pH值为9～11，具有清洗效率高、使用周期 长、对硅片无腐蚀性等特点。
本文转载自《金属表面处理剂配方与制备手册》编著 李东光
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