X射线测厚法是用射线激发物质产生状态变化而发出可测信息的测试方法。其工作原理是当被测物质经X射线或粒子射线照射后，由于吸收多余的能量而变成不稳定的状态。从不稳定状态要回到稳定状态，吸收了能量的物质必须将多余的能量释放出来，是以荧光或光的形态释放出来，从而提供了可供测量的信息。根据这一原理制作出了荧光X射线镀层厚度测量仪或成分分析仪。这类仪器就是测量这种被释放出来的荧光的能量及强度，来对试样进行定性分析和定量分析。由于这种测试是非破坏性的，并且可以在很微小的面积上测量镀层厚度，因此是现在流行的高性能测厚仪器。
本文转载自中国电镀网
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