钼、钨及其合金浸蚀前先要机械方法清除氧化皮，然后用碱脱脂剂进行脱脂，最后进行浸蚀。
钼及钨的化学浸蚀方法一般采用氢氟酸(含量在5％。7％)于室温下浸渍1～2min。也可以选用电解(阳极)浸蚀方法，例如在16g／L的磷酸溶液中，温度40～50℃，阳极电解10min(电流密度0.07 A／dm2，阴极采用铝板)。
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